|
工業氦氣Industrial Helium
技術指標：表中“純度”和“含量”均為體積分數（％）
“Puity”and“Content”in table are expressed as volume fraction（％）
| 項目Ltem |
指標 Value |
| 氦氣純度He Purity |
10-2≥ |
99 |
| 氖、氫、氧、氬、氮、甲烷含量 |
10-2≤ |
| Total content of Ne、H2、O2、Ar、N2 and CH4 | |
1 |
| 露點，Dew point |
℃ ≤ |
-43 |
純氦 Purity helium
技術指標：表中“純度”和“含量”均為體積分數（％）
“Puity”and“Content”in table are expressed as volume fraction（％）
| 項目 Ltem |
指標 Value |
|
優等品
Class A （Excellent） |
一等品Class B（Good） |
合格品 Class C（Pass） |
| 氦氣純度 He Purity |
10-2 |
≥ |
99.995 |
99.993 |
99.99 |
| 氖含量 Ne content |
10-6 |
≤ |
15 |
25 |
40 |
| 氫含量H2 content |
10-6 |
≤ |
3 |
5 |
7 |
| 氧含量O2 content |
10-6 |
≤ |
3 |
5 |
7 |
| 氮含量 N2 content |
10-6 |
≤ |
10 |
17 |
25 |
| 一氧化碳含量 CO content |
10-6 |
≤ |
1 |
1 |
1 |
| 二氧化碳含量 CO2 content |
10-6 |
≤ |
1 |
1 |
1 |
| 甲烷含量 CH4 content |
10-6 |
≤ |
1 |
1 |
1 |
| 水份含量H2O content |
10-6 |
≤ |
10 |
15 |
20 |
高純氦 High-purity helium
技術指標：表中“純度”和“含量”均為體積分數（％）
“Puity”and“Content”in table are expressed as volume fraction（％）
| 項目 Ltem |
指標 Value |
|
優等品 Class A （Excellent） |
一等品Class B（Good） |
合格品Class C（Pass） |
| 氦氣純度He Purity 10-2 ≥ |
99.996 |
99.9993 |
99.999 |
| 氖含量 Ne content10-6 ≤ |
1 |
2 |
3 |
| 氫含量H2 content 10-6 ≤ |
0.1 |
0.5 |
1 |
| 氧含量O2 content 10-6 ≤ |
0.5 |
1 |
1 |
| 氮含量 N2 content 10-6 ≤ |
1 |
1 |
2 |
| 一氧化碳含量 CO content 10-6 ≤ |
0.1 |
0.2 |
0.5 |
| 二氧化碳含量 CO2 content 10-6 ≤ |
0.2 |
0.2 |
0.5 |
| 甲烷含量 CH4 content 10-6 ≤ |
0.1 |
0.2 |
0.5 |
| 水份含量H2O content 10-6 ≤ |
1 |
2 |
3 | |
